|
 Leistungen - Ultraspurenanalytik
Reinstwasser
- Kationen, Anionen, TOC, SiO2, Mikrobiologie
Chemikalien
- Kontaminationen im sub-ppb-Bereich
Hilfs- und Betriebsstoffe
- Oberflächenkontamination
- Verunreinigung
Spezielle Analysetechniken der Halbleiterindustrie
- VPD-Analysen
Messmethoden:
Atommassenspektroskopie (ICP-MS), Ionenchromatografie (IC), VPD-Analysen
|
|
|
|
